有機廢氣在反應器中經高壓聚能放電成為高溫等離子體。處理過程中氣體由常溫急劇上升至近3千度高溫，在極短的時間里完成有機物質的裂解過程。

　　高溫等離子技術的實質是焚燒，有機物在反應器中經高溫焚燒生成二氧化碳、水等單質物質，不含有機物，不具可燃性。

　　高溫等離子處理廢氣屬于直燃式對廢氣高溫焚燒處理，廢氣濃度以投料峰值為上限，廢氣在管道內核心焚燒區域流速20M/S，直燃式焚燒方式決定了濃度的穩定，高溫等離子焚燒設備主體對于廢氣沒有壓縮過程，不存在廢氣濃度變化或者增加濃度的途徑，所處理廢氣濃度一直在可控范圍內，也就是設計處理廢氣的燃爆極限以下。

　　低溫等離子利用高能電子、自由基等活性粒子使部分污染物分子發生分解，達到降解污染物的目的。(注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，近于常溫。)

　　低溫等離子技術因其能量低，只能擊碎大分子團，而無法完全分解有機物。

　　經低溫等離子處理后的有機廢氣，有機物含量變化很小，低溫等離子處理手段主要在10-15米管道內釋放低溫等離子體與廢氣分子結合緩慢氧化，管道內氣體濃度隨著時間上漲，存在很大安全隱患，對于廢氣的濃度不可控，管道內氣體堆積濃度上漲達到一定極限極易產生危險。